英國Quorum 超高分辨率成像專用鍍膜儀 Q150T S Plus

超高分辨率成像專用鍍膜儀采用隔膜泵加渦輪分子泵兩級真空系統(tǒng)，最低真空可達(dá)5X10-5mbar。得益于很好的背景真空，從而可以實現(xiàn)超細(xì)金屬顆粒鍍膜，滿足超高分辨成像。同樣的針對鍍碳需求來說，較低的散射能夠?qū)崿F(xiàn)高純度致密的非晶碳鍍膜。

  采用可互換鍍膜頭設(shè)計能夠?qū)崿F(xiàn)一臺設(shè)備同時具備金屬靶材鍍膜、鍍碳以及輝光放電功能。碳繩蒸鍍作為可選項，同時設(shè)備具備鍍膜頭自動識別功能?？刹鹦肚惑w設(shè)計，易于樣品艙的清洗，防止鍍膜交叉污染。用戶可以快速清潔腔體及底座，同時提供高腔體選項，用于鍍碳，避免樣品過熱，同時可以提高鍍膜的均勻性及裝載更高樣品。