輸入電源 | · AC 220V , 50/60 Hz, · 最大射頻功率: 100 W · 真空泵功率: < 500W · 總功率: < 600W |
射頻功率 | · 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) · 射頻: 13,56 MHz · 可以與本公司工作人員聯(lián)系采用300W或500W的射頻電源，來進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn) |
等離子腔體 | · 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 · 鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封 · 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 |
控制面板 | · 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等. · 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量 |
真空泵（選配） | · 可選一臺(tái)240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動(dòng)擋板閥。 · 極限真空度為50mTorr
|
通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） |
等離子清洗及刻蝕的方法 |  |
可選 | · 可選購(gòu) 2"?-?6"?石英舟來盛放基片 · 多種混氣系統(tǒng)可選 · 質(zhì)子供氣系統(tǒng)浮子供氣系統(tǒng) |
外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) |
